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Toppan Photomask與EVG達成合作,加快推進納米壓印光刻技術(shù)應(yīng)用 | 美通社

2022-09-20 16:42

Toppan Photomask制造的半導(dǎo)體用光掩模,納米壓印光刻(NIL)母版采用同樣的材料、技術(shù)和工藝制造而成。來源:Toppan Photomask。
Toppan Photomask制造的半導(dǎo)體用光掩模,納米壓印光刻(NIL)母版采用同樣的材料、技術(shù)和工藝制造而成。

光掩模供應(yīng)商Toppan Photomask Co. Ltd.與為MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場提供晶圓鍵合及光刻設(shè)備的供應(yīng)商EV Group(EVG)宣布,兩家公司已達成協(xié)議,共同推廣賦能光電產(chǎn)業(yè)的大批量制造(HVM)工藝—納米壓印光刻技術(shù)(NIL)。

此次合作旨在確立NIL為光電制造的行業(yè)標準生產(chǎn)工藝,并加速其在HVM中實施,以支持各種應(yīng)用。這些應(yīng)用包括增強/混合/虛擬現(xiàn)實耳機、智能手機、汽車傳感器和醫(yī)療成像系統(tǒng)。(美通社,2022年9月20日奧地利圣弗洛里安和東京)